BALLUFF位移傳感器,供應BALLUFF位移傳感器
位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關的量,位移的測量方式所涉及的范圍是相當廣泛的。小位移通常用應變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術來測量。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率zui高的可達到納米)、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點,在機床加工、檢測儀表等中得到日益廣泛的應用。
編輯本段原理
計量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來測量位移的。“莫爾”原出于法文Moire,意思是水波紋。幾百 位移傳感器
年前法國絲綢工人發(fā)現(xiàn),當兩層薄絲綢疊在起時,將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對運動,則花樣也跟著移動,這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。般來說,只要是有定周期的曲線簇重疊起來,便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。 透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,a為刻線寬,b為兩刻線之間縫寬,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵。塊光柵稱為主光柵,它的大小與測量范圍相*;另塊是很小的塊,稱為指示光柵。為了測量位移,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當主光柵和指示光柵相對移動時,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,固定在指示光柵側(cè)的光電元件,將光強變化轉(zhuǎn)換成電信號。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號為脈動信號。如圖 1,此信號是直流信號和近視正弦的周期信號的疊加,周期信號是位移x的函數(shù)。每當x變化個光柵柵距W,信號就變化個周期,信號由b點變化到b’點。由于bb’=W,故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)*樣,只是在相位上增加了2π。
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